TruPlasma Arc Serie 3000

Souveränes Handling von anspruchsvollen Prozessen Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!

HF-Generatoren der neuen Generation Bei der Beschichtung oder Strukturierung von Oberflächen kommt es entscheidend auf eine stabile und reproduzierbare Plasmastromversorgung an. Hierfür bieten die mit moderner Leistungselektronik ausgestatteten HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) die besten Voraussetzungen: Dank ihrer stabilen Ausgangsleistung und hohen Regelgenauigkeit sichern sie Ihnen beste Ergebnisse bei zugleich hoher Produktivität. Ausgangsfrequenz: 13.56 MHz

Kompakte Gleichstrom-Generatoren der neuen Generation Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) ist für eine Vielzahl von DC-Sputterprozessen geeignet – auch als Ersatz von gepulsten Prozessstromversorgungen. Denn das fortschrittliche Arc-Management bietet die Gewähr für beste Schichtqualitäten und einen deutlich erhöhten Produktionsertrag. Aufgrund der äußerst kompakten Bauweise können Sie die wassergekühlten Gleichstrom-Generatoren sehr einfach in Ihre bestehende Anwendung integrieren.

Der bidirektionale Batteriewechselrichter TruConvert AC 3025 wandelt Wechselstrom in Gleichstrom um. Dieser kann in jede beliebige Batterie eingespeist und bei Bedarf abgerufen werden.